爪式真空泵是一种在半导体行业应用非常广泛的真空泵。第一台爪式真空泵诞生于日本，随着日本半导体行业的蓬勃发张，爪式真空泵的应用量迅速增大。它除了有干式真空泵腔内无油的共同特点外，还有自己的独特优点。
（1）转子与转子之间，转子与腔体之间存在间隙，没有摩擦。
（2）可以直排大气，能够在高压下长期稳定工作。
（3）能够抽除腐蚀性、剧毒性、放射性和易燃性气体。
（4）压缩比大，可以达到10～105。（5）对粉尘的耐受性较强。
爪型干式真空泵可以做成单级，也可以做成多级。很多公司都采用爪型转子与罗茨转子组合的方式。一般爪泵做前级。它利用了在低压下罗茨泵的抽气效率较高，高压下爪型转子抽气效率较高的特点，将这两种泵各自的优势匹配起来，组成干式真空泵。这样的干式真空泵适用于真空度达1Pa，含水分子和硬质腐蚀颗粒的半导体芯片，光学通讯设备及平板显示器等高科技行业的苛刻工艺流程。在众多的干式真空泵中，爪式真空泵备受半导体、光学器件等高科技行业的青睐。
