1.机械真空泵、蒸气流真空泵工作液
     水、汞、油是水环泵、机械泵、分子泵、喷射泵、扩散泵所采用的工作液体与密封液体。蒸气喷射泵、扩散泵依靠工作液蒸气进行喷流或扩散抽气。因此在泵的锅炉工作温度下，希望工作液具有足够的蒸气压，而在常温下由于油蒸气可能会弥漫整个被抽真空容器，成为极限真空的限制因素，因此又希望它在常温下有低的饱和蒸气压。除了对其蒸气压特性有一定要求外，好的热稳定性、抗氧化性及在室温下有适中的流动性也是燕气喷射泵、扩散泵所要求的。真空泵油大体可分为:石油烃、酷、硅油、卤化碳氢化物、醚五大类。

2.吸气剂和吸气剂泵材料
(1)电子管用吸气剂
吸气剂一般分蒸散型和非蒸散型二类。蒸散型有时也称扩散型或闪烧型，如:钙、镁、银、钡等，其中以钡最为常用。非蒸散型有时也称涂层型或体积型，如:错、钦、牡等，其中错是常用吸气剂的主要组分。近年来发展的蒸散型掺氮吸气剂，非熬散型的铬铝、铬石墨体吸气剂有着优异的吸气性能。
(2)升华泵和溅射离子泵的工作金属
铁、钽、铌、钼、钇、钪等金属均曾用作各种吸气剂泵和离子泵的工作金属