不像其他的气体传输泵，低温泵在气体捕集过程中会出现饱和情况，因此需要释放吸附捕集的气体以恢复捕集能力，称之为再生过程。
低温真空泵的再生其实包括部分再生（仅释放二级冷板吸附的气体）与全部再生（释放所有冷板吸附的气体）。本文要了解的就是低温泵的全部再生的几种方式。
一、自然升温法。关掉制冷机后，利用泵壁的热量使真空泵缓慢升温。当真空泵内的压力升到对流换热起作用时，升温速率加快，随后达到稳定的升温值。
二、放气升温法。关掉制冷机后，打开放气阀放入清洁干燥的空气，使低温真空泵冷板快速升温。
三、电加热法。在低温真空泵的一二级冷板上加装电加热器，再生时通过电加热使低温板快速升温，缩短再生时间。
这几种再生方式中，自然升温适用于抽除少量气体，并且不是连续长期排气的真空系统，一般需时5～6小时。如果在要求快速再生的应用中，就需要采用后两种再生方式。
低温真空泵在再生过程中，需要及时抽除释放出来的气体以防止可能出现的对泵体或真空计玻璃管管壳的破坏，甚至爆炸。因为升温到一定温度时，永久性气体的解吸速度很快，在数分钟之内可使泵体内压力升高到一个大气压以上。
